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- 壓阻式壓力傳感器基本工作原理及特點(diǎn)
- 來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2014/7/15
1、壓阻式壓力傳感器的工作原理
壓阻式壓力傳感器是由平面應(yīng)變傳感器發(fā)展起來的一種新型壓力傳感器。它以硅片作為彈性敏感元件，任該膜片上用集成電路擴(kuò)散工藝制成四個(gè)等值導(dǎo)體電阻，組成惠斯登電矯，當(dāng)膜片受力后、由于半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)．電阻值發(fā)生變化，使電橋輸出而測得壓力的變化，利用這種方法制成的壓力傳感器叫壓阻式壓力傳感器。
相似于電阻應(yīng)變式傳感器 
其中
金屬電阻應(yīng)變片的靈敏度系數(shù)主要利用
的應(yīng)變效應(yīng)，而半導(dǎo)體應(yīng)變片主要利用電阻率 
的變化，這就是壓阻式壓力傳感器的基本原理，它是利用壓阻效應(yīng)的結(jié)果。
2、壓阻式壓力傳感器的特點(diǎn)
結(jié)構(gòu)簡單、可微型化。
壓阻式壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn)：
可測高頻
靈感度高
精度高
受溫度影響大
壓阻式壓力傳感器的缺點(diǎn)：
量程小
不耐腐蝕
工藝復(fù)雜
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